国家知识产权局信息数据显现,通快霍廷格两合公司请求一项名为“特别地用于脉冲等离子体处理的等离子体处理供给体系和用于操作这种等离子体处理供给体系的办法”的专利,公开号CN121336283A,请求日期为2024年6月。
专利摘要显现,本发明触及特别地用于脉冲等离子体处理的等离子体处理供给体系(100),该等离子体处理供给体系包含:具有至少一个放大器电路(30)的RF发生器(2)、阻抗匹配电路(3)和操控设备(1)。等离子体处理供给体系(100)能够衔接至等离子体室(4)。RF发生器(2)衔接至阻抗匹配电路(3),阻抗匹配电路(3)被规划成将方针阻抗(10)设置为RF发生器(2)的输入阻抗。操控设备(1)被规划成将方针阻抗(10)设置成使得描绘安稳时段(41)中输入阻抗的阻抗曲线)延伸经过焚烧阻抗区域(43)至方针阻抗区域(44),RF发生器(2)在焚烧阻抗区域(43)中供给比在随后的方针阻抗区域(44)中的方针功率水平更高的功率水平。
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